沿岭资讯

中微登陆科创板的背后:15年风雨同舟,打造“国之重器”

匿名 发布时间: 2019-10-22 07:43:28

5 nm约为发丝直径的1/15000。制造5纳米逻辑器件需要世界上最先进的集成电路技术。中国微半导体设备(上海)有限公司自主研发的甚高频解耦反应离子刻蚀机已获得5纳米芯片制造商的认可,最近已投入大规模生产并实现大规模销售。今年,在美国半导体市场咨询公司vlsi research进行的半导体设备企业评估中,中国微系统公司(China Microsystems)已成为全球五大五星级企业之一。其设备产品已进入国内外40多条芯片生产线。

十五年前,尹志尧博士带领14名中国半导体设备行业的技术和管理专家来到上海张江,成立了中国微半导体设备(上海)有限公司,自此,上海的相关部门与这家企业一直同舟共济。此后成立的上海风险投资公司和上海分公司风险投资集团已经对其进行了几轮战略投资,成为中国微公司的最大股东。国家集成电路产业投资基金成立后,中微成为第一个投资目标,现在是第二大股东。两大股东不干涉企业运营,使中微始终保持独立灵活的发展战略。

今年7月,中国微系统公司成为科学创新委员会首批上市公司之一。其自主研发的等离子蚀刻机、金属有机化学气相沉积(mocvd)和其他“国家重量级”将得到资本市场更大的支持。

没有人愿意投资于竞争性投资。

中国微系统公司董事长兼总经理尹志尧表示,他与合作伙伴一起创业的方式“源于他退休后的一瞬间”。十七年前,上海市委副书记长江商州与尹志尧等一群华侨学生进行了讨论,引发了他回国创业的想法。那时,他已经从美国应用材料公司副总裁的职位上退休,晚年本可以过上舒适的生活。然而,2014年,他带领14名中国专家回到祖国,创立了中国微。

“当时,市领导非常支持我们,并将中国微微将要开发的半导体化学薄膜制造和等离子蚀刻设备纳入上海科教促进项目。”尹志尧回忆道。在相关协议中,上海风险投资公司承诺在中国和微软投资5000万元人民币。

有了这项协议,中国微电子的创始团队开始在中国筹集资金。15年前的中国集成电路投资环境远非今日。许多大型国有企业、民营企业和投资公司在研究了微型和中型项目后拒绝投资,因为他们不了解半导体设备行业,半导体关键设备的研发投资巨大,国际市场被美国和日本的少数企业垄断。然而,尹志尧不得不去美国硅谷筹集资金,那里的许多风险投资机构都对中国创业团队持乐观态度。在硅谷,中国微完成了瓦尔登国际牵头的3949万美元融资。

尹志尧博士走在2018年上海科技节的红地毯上。

在接下来的15年里,中国集成电路产业政策和投资环境越来越好,这体现在中国和微型企业的融资过程中:从c轮开始,上海分公司风险投资集团在这家上海企业中处于领先地位;从d轮开始,投资机构主要来自中国,包括国有金融、国家集成电路产业投资基金等巨头。“中国集成电路产业经历了翻天覆地的变化,从不敢也不想投资的国内投资机构,到众多竞相投资的机构。”尹志尧叹了口气。

他已经三次被美国公司起诉,没有失败。

"中国和美国的增长是九死一生."风险投资集团上海分公司副总经理朱敏表示,这三家美国半导体设备公司轮流对中国和微软提起知识产权诉讼,这是企业生存的关键。

2004年,当尹志耀带领创业团队回到中国时,处于垄断地位的美国半导体设备公司认为中国和微软无法挑战他们。然而,四年后,由中微自主研发的等离子蚀刻机进入了SMIC的国际生产线,也将进入台湾最先进的芯片生产线。得知这一消息后,领先的国际半导体设备公司应用材料公司(application materials company)不能坐视不管,并起诉美国联邦法院轻微侵犯其商业秘密。这是一项没有证据的起诉,但是根据美国法律,被告必须证明他是无辜的。中国和微软选择积极回应,并聘请了一家美国富裕的律师事务所进行调查。该律师事务所花了两年半的时间检查了600多万份中文和微型文件,以及30多名从事应用材料工作的员工的个人文件和电脑,发现他们是无辜的。最后,申请材料与中国和微软达成了诉讼和解,表明项目合作可以在未来进行。

2009年,世界最先进的等离子蚀刻设备制造商潘麟集团向台湾知识产权法院提起诉讼,指控中国微公司侵犯其两项专利权,因为中国微蚀刻设备将进入更多台湾芯片生产线。对于专利诉讼,中微已经做好了准备。他们彻底研究了来自国际竞争对手、客户和零部件供应商的数以千计的相关专利,并分析了哪些专利拥有在先专利,哪些专利实际上是无效的,哪些是不可逾越的。他们也非常重视专利保护。截至今年6月底,他们已经申请了1280项专利,其中包括1118项发明专利。已经批准了961项专利,其中814项是发明专利。依靠自主创新和专利战略,潘麟被判无效专利,八个月后败诉。此后,这家美国公司上诉了四次,均败诉。

中国微系统公司的研发人员正在操作等离子刻蚀机。

2017年,中国和委内瑞拉遇到了更大的障碍。领先的国际mocvd制造商Veico在纽约东方法院起诉了一家德国MicroSoft供应商,声称其根据MicroSoft的设计制造的反应堆转盘侵犯了其专利权。当时,由中国和微软开发的mocvd正在大规模进入国内外市场,转移了这家美国公司的奶酪。纽约东部地区法院在裁定中微是否侵犯权利之前,对中微实施了转盘禁运。转盘是mocvd生产的耗材,禁运可能导致使用微型器件的发光二极管制造商停止生产。对此,中微向中国国家知识产权局提出无效的维科专利申请,并以维科转盘设计侵犯中微专利权为由向福建省高级法院提起诉讼。2017年11月,国家知识产权局专利复审委员会做出复审决定,确认中微软专利的有效性。福建省高级法院立即对越共的mocvd实施禁运。去年2月,中微及其德国供应商与维科达成诉讼和解,友好解决了所有悬而未决的争议。

吸引不同国家人才的期权激励

风险投资集团上海分公司总经理沈卫国认为,微软在以往所有诉讼中立于不败之地有两个原因:内因是公司先进的管理理念、强大的研发能力和严格的知识产权管理体系,外因是国家和上海相关部门的长期支持。

微机械产品遵循十项原则:它们旨在满足工艺的最高要求和最佳性能,实现工艺的可重复性和稳定性,以及设计设备的可靠性和耐用性。在这些原则的指导下,由微机械开发的微机械高端设备具有性能优异、成本低廉、操作简单、稳定可靠的特点。

中国和微观团队的国际化程度很高。外籍员工约占员工总数的四分之一,来自10个国家和地区。研发团队结构完整,拥有200多个专业背景,涵盖30多个学科,为高度复杂的设备研发奠定了基础。

全期权激励是中微吸引和留住人才的一大秘密。尹志尧非常赞同马克思的剩余价值理论。他认为企业的价值是由资本投资和劳动创新产生的。因此,劳动力创新创造的剩余价值应该以期权或股权的形式返还给所有员工,而员工不必像股东一样投资和购买。“这种全期权激励制度是许多硅谷企业发展壮大的关键因素。对于高科技企业来说,实验室和客户第一线的工程管理人员是创新的中坚力量,充分的期权激励可以最大限度地激发他们的工作热情,使员工能够将其长期利益与公司的发展紧密联系起来。”本着这一理念,中微700多名员工拥有公司股份,这为公司上市后带来了喜悦。

中国微系统公司的研发人员正在操作mocvd设备。

“店主”帮助登上科学板

在15年的发展中,中国和美国得到了国家和上海的大力帮助。自2009年以来,中微成为首批承担国家重大科技项目“超大规模集成电路制造技术及全过程”的单位之一,先后承担了五个项目,在等离子刻蚀机的许多关键核心技术上取得突破。

2012年,在上海市领导的支持下,尹志尧等四位上海集成电路领导联名致信中央政府,建议将半导体芯片产业视为国家支持的战略性产业,在未来10-20年实现跨越式发展。这封信受到了中央领导的高度重视。2014年6月,工业和信息化部发布了《促进国家集成电路产业发展纲要》,决定设立国家集成电路产业投资基金。该基金投资的第一家企业是中卫。近年来,尹志尧等人向中国证监会和上海证券交易所提出了一系列科技企业上市的政策建议,也受到了领导的高度重视。

不要忘记你的首创精神,历经风雨,这家上海企业终于成功上市。“太不可思议了!”朱民感叹道,“从宣布成立科学创新委员会和试点注册制度到中国微科技上市,只花了八个多月。”不可思议的背后,是科委对高科技企业的支持,为这类企业开拓资本市场创造了条件。令人难以置信的是政府部门的“酒保”服务。为了推动中国和微软进入科学委员会,SASAC市举办了几次专题研讨会,提出了评估和备案、产权登记和国有资产确认的工作计划。许多公务员加班审查公司15年历史中涉及的各种国有资产监管程序。为了加快中国和微软的工商变更登记,市市场监督局将“系列审批”改为“平行推广”,为公司获得上市审批赢得了宝贵的时间。在中国和微型企业发展过程中,市发改委、市财政局、市经委、市科委等部门也给予了大力支持。

尹志耀站在新的起点上,对公司的未来充满信心:“我们必须首先以有机增长为主,开发下一代更先进的等离子刻蚀机和化学薄膜设备,并继续扩大市场份额。我们将通过并购和合作拓展业务,与国内外设备公司协调发展。我们还将积极寻找与公司核心技术相关的新增长点。”可以预见,“中国创造”将在这个“国家重量”领域产生越来越大的全球影响。

总编辑:黄海华文字编辑:俞陶然专题地图来源:中国微系统公司图片编辑:徐嘉敏

碧桂园助龙门水坑村、朗背村贫困户改造危房圆安居梦